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공동활용 장비검색
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공동활용 장비검색
번호
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장비명
모델명
제조사
보유기관
1519
전자동미세 연마시스템
(Auto Precision Grinding and Polishing System)
EVG-250AD/EJW-460I-2ALD-D
Engis
한국나노기술원 융합공정기술본부
1518
Cu 박막 화학적 기계적 연마장비
(Cu CMP)
F-REX200
EBARA
한국나노기술원 나노공정본부
1517
복합이종박막 화학적 기계적 연마장비
(W/Oxide CMP)
F-REX200
EBARA
한국나노기술원 나노공정본부
1516
Evatec 스퍼터
(Evatec Sputter)
CLUSTERLINE?200 II
Evatec
한국나노기술원 나노공정본부
1515
Endura 스퍼터
(Endura Sputter)
Endura-5500
Applied Materials
한국나노기술원 나노공정본부
1514
급속 열처리 장치
(Rapid Thermal Process System)
RTA200H-AP1
뉴영엠텍
한국나노기술원 나노공정본부
1513
8인치 자동 타원 분광 분석기
(Automatic Ellipsometer)
AE-86, M-2000Xlc
AIM
한국나노기술원 융합공정기술본부
1512
8인치 자동 면저항 측정기
(4 point probe (면저항 측정 시스템))
AFP-300
AIM
한국나노기술원 나노공정본부
1511
웨이퍼 후면 세정기
(Wafer backside cleaner)
ASTRO2013
이노맥스
한국나노기술원 나노공정본부
1510
자동 습식 세정 장치 (산)
(Wet Station (HF/Acid))
SUN-L19-11
썬패치테크노
한국나노기술원 나노공정본부
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