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공동활용 장비검색
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공동활용 장비검색
번호
이미지
장비명
모델명
제조사
보유기관
1509
금속 원자층 증착기
(ALD-Insulators)
Lucida M300PL-O
(주)엔씨디 (주)엔씨디
한국나노기술원 융합공정기술본부
1508
금속 원자층 증착기
(ALD-Metals)
LUCIDATM M300PL-M
(주)엔씨디 (주)엔씨디
한국나노기술원 융합공정기술본부
1507
다이싱장비 IV
(Dicing Machine IV)
DFD-6340
Disco
한국나노기술원 융합공정기술본부
1506
감광제 제거기
(Asher(DAS2000))
DAS2000
PSK
한국나노기술원 나노공정본부
1505
건식 식각기(산업화) II
(RIE II (산업화))
P-5000
AMAT
한국나노기술원 나노공정본부
1504
화학기상증착기(산업화) III
(PECVD (산업화) III)
P-5000
AMAT
한국나노기술원 나노공정본부
1503
레이저 형상 측정기
(3D Laser Profiler)
VK-250K/260K
KEYENCE
한국나노기술원 나노공정본부
1502
라미네이팅머신
(Laminating Machine)
655RR
(주)지엠피
한국나노기술원 나노공정본부
1501
박스 퍼니스
(Box Furnace)
LDS81
LEAD ENG
한국나노기술원 나노공정본부
1500
스프레이 현상장치
(Spray Developer)
CIE-1D08
CND PLUS
한국나노기술원 나노공정본부
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