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공동활용 장비검색
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공동활용 장비검색
번호
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장비명
모델명
제조사
보유기관
1489
대구경 고해상도 집속이온빔
(FIB III)
Helios 5
Thermofisher
한국나노기술원 나노공정본부
1488
광전자분광기
(XPS)
NEXSA
Thermo Fisher Scientific
한국나노기술원 나노공정본부
1487
i-line stepper 양자팹
(i-line stepper II)
NSR-2005 i10C
Nikon
한국나노기술원 나노공정본부
1486
멀티플랫폼 지원 전자빔 리소그래피 1호기
(Multi-platform supported E-beam Lithography)
JBX-8100FS
Jeol
한국나노기술원 나노공정본부
1485
건식식각장비 II (양자팹)
(ICP etcher I)
ICP380
Oxford
한국나노기술원 소자기술개발본부
1484
건식식각장비 I (양자팹)
(ICP etcher I)
ICP380
Oxford
한국나노기술원 소자기술개발본부
1483
초고주파잡음측정시스템
(RF Noise Measurement System)
MT7553 Series
Maury Microwave
한국나노기술원 소자기술개발본부
1482
초고주파전력측정시스템
(RF Power Measurement System)
MT1000E
Maury Microwave
한국나노기술원 소자기술개발본부
1481
고출력반도체소자직류측정시스템
(DC Measurement System for High Power Devices)
TESLA200
FormFactor
한국나노기술원 소자기술개발본부
1480
자동생화학분석기
(Automatic Chemistry Analyzer)
3500
HITACHI
경기도경제과학진흥원
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