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공동활용 장비검색

총 1579 건

공동활용 장비검색
번호	이미지	장비명	모델명	제조사	보유기관
1529		결함전자현미경 (Defect Review Scanning Electron Microscope)	RS-4000	Hitachi	한국나노기술원 융합공정기술본부
1528		고밀도플라즈마 화학기상증착기 (HDP-CVD)	Centura5200 Ultima/DxZ	Applied Materials	한국나노기술원 나노공정본부
1527		웨이퍼 결함 검출기 (Wafer Defect Inspection System)	AIT-XP	KLA-Tencor	한국나노기술원 융합공정기술본부
1526		탄화실리콘 고속 식각 장비 (SiC Etcher)	Polaris etcher	Oxford	한국나노기술원 나노공정본부
1525		절연막/실리콘 식각 장비 (Insulator/Si Etcher)	Centura II (eMax, DPS+ Poly, ASP+)	Applied Materials	한국나노기술원 나노공정본부
1524		금속막 식각 장비 (Metal Etcher)	Selex 200	APTC	한국나노기술원 나노공정본부
1523		열처리기 (Furnace)	PF-V81	P & TECH	한국나노기술원 나노공정본부
1522		웨이퍼 접합 시스템 (Wafer Bonder System)	GEN2	Suss Micro	한국나노기술원 융합공정기술본부
1521		오버레이 측정기 (Overlay Metrology System)	OL-100n	오로스테크놀로지	한국나노기술원 융합공정기술본부
1520		텅스텐/플라즈마 화학기상증착 장치 (W/Plasma CVD)	Centura®Sprint	Applied Materials	한국나노기술원 융합공정기술본부

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